平面激光干涉仪
+斐索型激光干涉仪，3D压电相移单元
+测量抛光面的平面度或高光洁度精密表面（附加装置可测量研磨后的表面）
+结构:立式或卧式
+参考物镜精度:M10或/20
+激光测量单元
+型号:Helium-Neon Class ll
+波长:623.8nm 输出功率:≤1mW
+偏振:圆形
+软件:
实时图像显示
测量软件，适合 Windows NT/XP/2000
+分辨率:768x576 Pixels
+自动生成测量报告 2D/3D 图像显示
+多种表述形式:像素、毫米、英尺
+手动或自动仪器标定