德国 UHL MS5 2D/3D 光学影像测量系统
模块化设计、全能型测量
测 量 范 围：420x300x200mm
350x350x200mm
可选测量传感器：Laser 激光测量传感器
CWL 白光色差测量传感器
WLI 白光干涉测量传感器
AFM 原子力显微镜
2D/3D 外形轮廓、粗糙度、平面度测量、三轴全电动测量控制、全自动多功能控制与测量分析软件
技术数据 | UHL MS5 420x300 | UHL MS5 350x350 | ||||||||
测量范围 |
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X轴 | 420mm | 350mm | ||||||||
Y轴 | 300mm | 350mm | ||||||||
Z轴 | 200mm | 200mm | ||||||||
台面尺寸 |
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X轴 | 580mm | 460mm | ||||||||
Y轴 | 460mm | 460mm | ||||||||
外形尺寸 |
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长度 | 2000mm | 2000mm | ||||||||
宽度 | 940mm | 940mm | ||||||||
高度 | 1618mm | 1618mm | ||||||||
测量系统 | 光电线性测量光栅尺 | |||||||||
分辨率 | 0.1μm | |||||||||
测量软件 | OMS/IMS/QC5000 | |||||||||
OMS/IMS/QC5000 | 10kg | 25kg | ||||||||
设备重量 | 500kg |
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测量精度 | 显微镜测量精度：(1.1+L/400）μm | |||||||||
选项 |
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CWL消色差测量传感器-用于微细表面2D/3D外形轮廓、平面度、表面粗糙度等测量 | ||||||||||
Z轴测量范围 | 300μm | 600μm | 2mm | 3mm | 6mm | 10mm | 25mm | |||
工作距离 | 4.5mm | 6.5mm | 61mm | 22.5mm | 36mm | 70mm | 80mm | |||
Z轴分辨率 | 10nm | 20nm | 70nm | 100nm | 200nm | 300nm | 800nm | |||
WLI白光干涉仪测量传感器-用于三维微细形貌测量 | ||||||||||
测量物镜 | 10x | 20x | 50x | |||||||
Z轴分辨率 | 0.01nm | 0.01nm | 0.01nm | |||||||
Z轴测量范围 | 100μm/400μm | 100μm/400μm | 100μm/400μm | |||||||
X/Y测量范围 | 1.6mmx1.2mm | 0.8mmx0.6mm | 0.32mmx0.24mm | |||||||
X/Y取样间隔 | 2.5μm | 1.25μm | 0.5μm | |||||||