NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG

德国NTG

NTG 公司 1968 年成立，位于德国美丽的中世纪古城 Gelnhausen，距离法兰克福 45 公里。NTG 公司致力于离子束技术创新，拥有世界著名教授，物理学家和工程师的技术力量，在真空技术、纳米技术和核能工业领域有 50 多年丰富的经验。

NTG 公司 1991年开始生产离子束抛光设备(IBF)，至今已有 30 多年的离子束抛光设备制造经验。IBF 设备利用离子束对光学工件表面进行纳米级修正，突破了传统抛光无法达到的超高面形精度。IBF设备可以加工几乎所有面形和材料的工件，是提高工件精度的最佳解决方案，且加工成本远低于其它抛光设备，效率更高，几乎没有耗材。

NTG在全球拥有众多用户，如卡尔·蔡司。在中国多个著名科研所、光学公司安装了数台不同型号的IBF设备。IBF 设备的加工范围覆盖了大、中、小口径的光学工件，以及航天工业和天文光学的超大口径光学加工。



 

 

IBF5

IBF-5 专为最小尺寸的光学工件表面纳米级确定性修正而研发，在最短时间内提高光学工件的精度。除了面形误差修正外，该设备还适用于中波标准频率粗糙度修正和最小的非球面光学工件。

可同时加工多个光学工件。

工件参数

工件直径：

Φ0.5 mm – Φ5 mm

(Φ0.02” – Φ0.2”)

工件厚度：

7 mm (0.275”)

工件重量：

最大750 g (1.65 lbs)

接触角度：

最大63°

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

批量加工：

一个夹具可承放多个工件

 

轴系统

类型IBF 5：

X、Y、Z

行程：         

X=75 mm

Y=50 mm

Z=25 mm


外形尺寸

设备重量：

700 kg (1543 lbs)

宽x高x深：

1.7 m x 1.5 m x 0.9 m

(67” x 59” x 35”)

占地面积：

3m x 2.5m

(118” x 98”)

IBF100

IBF-100 专为小尺寸的光学工件表面纳米级确定性修正而研发，在最短时间内提高光学工件的精度。

工件参数

工件直径：

Φ5 mm – Φ70 mm

(Φ0.2” – Φ2.75”)

直接装载：

Φ100 mm (4”)

工件厚度：

45 mm (1.8”)

工件重量：

最大750 g (1.65 lbs)

接触角度：

最大63°

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

单载具过渡舱系统

装载时间：

＜2 min.

轴系统

类型100-3：

X、Y、Z、A

类型100-5：

X、Y、Z、A、B

行程：         

X=300 mm

Y=250 mm

Z=150 mm

A±60°

B±95°

外形尺寸

设备重量：

1850 kg (4079 lbs)

宽x高x深：

1.56 m x 2.17 m x 1.3 m

(61” x 85” x 51”)

占地面积：

3m x 3m

(118” x 118”)

IBF-200

IBF-200 适用于中小尺寸光学工件表面纳米级确定性修正。

200-S 配置，可使离子束与工件接触角度高达90°

此外，该设备还可直接进行离子束反应刻蚀。因此引起研究机构和大学极大兴趣。

工件参数

工件直径：

Φ5 mm – Φ200 mm

(Φ0.2” – Φ 7.87”)

工件厚度：

Φ100 mm (4”)

工件重量：

最大10 kg (22 lbs)

接触角度：

最大63°  (标准型)，最大90° (型号200-5)

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

单载具过渡舱系统

装载时间：

＜2 min.

轴系统

类型200-3：

X、Y、Z、A

类型200-S：

X、Y、Z、A、B

行程：         

X=400 mm

Y=400 mm

Z=400 mm

A±45°

B=连续

外形尺寸

设备重量：

2450 kg (5390 lbs)

宽x高x深：

3.75 m x 2.2 m x 1.7 m

(148” x 87” x 67”)

占地面积：

5.75 m x 3.7 m

(226” x 146”)

IBF200SE

IBF-200SE 于2016年推出，是专为工业用途而设计。该设备用于中小尺寸光学工件表面纳米级确定性修正.

工件参数

工件直径：

Φ5 mm – Φ200 mm

(Φ0.2” – Φ 7.87”)

Φ300 mm (12”) – 直接装载

工件厚度：

Φ100 mm (4”)

工件重量：

最大10 kg (22 lbs)

接触角度：

最大63°

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

单载具过渡舱系统

类型200 SE：

＜2 min.

 

轴系统

类型200 SE：

X、Y、Z

行程：           

X=400 mm

Y=400 mm

Z=400 mm

外形尺寸

设备重量：

3500 kg (7700 lbs)

宽x高x深：

1.42 m x 2.46 m x 4.34 m

(56” x 97” x 171”)

占地面积：

5.8 m x 3.4 m

(228” x 133”)


IBF300

IBF-300 是所有IBF设备的原型机。超过25年的使用经验，已经在各种应用中展示了它卓越的能力。

该设备是为多班作业(7 x 24)和连续生产而设计。

最近几年升级优化了这款机器使它仍然是一款最先进的制造设备。


工件参数

工件直径：

Φ5 mm – Φ300 mm

(Φ0.2” – Φ12”)

工件厚度：

125 mm (5”)

工件重量：

最大30 kg (66 lbs)

接触角度：

最大63°

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

双载具过渡舱系统

装载两个工件，实现连续加工


轴系统

类型300-3：

X、Y、Z

类型300-5：

X、Y、Z、A、B

行程：           

X＞300 mm

Y＞300 mm

Z =150 mm

A±50°

B±50°

 

外形尺寸

设备重量：

2600 kg (5720 lbs)

宽x高x深：

3.2 m x 2.5 m x 2.57 m

(126” x 98” x 101”)

占地面积：

4.2 m x 3.5 m

(165” x 138”)

IBF 450 /IBF 500

IBF-450/500 是 IBF300 的升级版，增加了工件的直径和重量。

工件参数

工件直径：

Φ5 mm – Φ450 mm (Φ500 mm)

(Φ0.2” – Φ18” / Φ20”)

工件厚度：

125 mm (5”)

工件重量：

最大40 kg (88 lbs) / 50kg (110 lbs)

接触角度：

最大63°  

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

双载具过渡舱系统

装载两个工件，实现连续加工

轴系统

类型450-3：

X、Y、Z

类型450-5：

X、Y、Z、A、B

行程：           

X＞450 mm / 500 mm

Y＞450 mm / 500 mm

Z =150 mm

A±50°

B±50°

       

外形尺寸

设备重量：

4100 kg (9020 lbs)

宽x高x深：

3.70 m x 3.70 m x 2.57 m

(146” x 146” x 101”)

占地面积：

4.2 m x 5.2 m

(165” x 205”)


IBF 700

IBF-700 是带有双载具过渡舱的最大型IBF设备。

它是NTG基于 IBF300 和 IBF450/500 基础上研发的第三代设备。

该设备也是为多班作业(7 x 24)和连续生产而设计。


工件参数

工件直径：

Φ5 mm – Φ700 mm

(Φ0.2” – Φ27.5”)

工件厚度：

200 mm (8”)

工件重量：

最大100 kg (220 lbs)

接触角度：

最大63°  

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

双载具过渡舱系统

装载两个工件，实现连续加工


轴系统

类型700-3：

X、Y、Z

类型700-5：

X、Y、Z、A、B

行程：           

X＞700 mm

Y＞700 mm

Z =400 mm

A±50°

B±50°

                   

外形尺寸

设备重量：

5950 kg (13091 lbs)

宽x高x深：

4.65 m x 5 m x 2.75 m

(183” x 197” x 108”)

占地面积：

6 m x 6 m

(236” x 236”)

IBF 700R

IBF-700R 是用于高达 700x700mm 的矩形光学工件表面纳米级确定性修正。

配备了高速抽真空系统，最大限度的减少装载和卸载时间，提高了加工效率。

工件参数

工件尺寸：

700 mm x 700 mm

(27.5” – 27.5”)

工件厚度：

200 mm (8”)

工件重量：

最大250 kg (551 lbs)

接触角度：

最大63°  

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

高速抽真空系统

无过渡舱，配置高速抽真空系统

轴系统

类型700R：

X、Y、Z

行程：           

X＞700 mm

Y＞700 mm

Z＞200 mm

 

外形尺寸

设备重量：

9000 kg (19840 lbs)

宽x高x深：

6.6 m x 2.5 m x 5.7 m

(260” x 98” x 224”)

占地面积：

6 m x 5.7 m

(260” x 245”)

IBF-1000

IBF-1000 是用于大型光学工件表面纳米级确定性修正，尤其是反射镜，工件水平方向放置，加工面向下，是基于新模块化系统的最小型号IBF设备。

工件参数

工件直径：

Φ5 mm – Φ1000 mm  

(Φ0.2” – Φ39”)

工件厚度：

300 mm (12”)

工件重量：

最大500 kg (1102 lbs)

接触角度：

最大63°  

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

高速抽真空系统

无过渡舱，配置高速抽真空系统


轴系统

类型1000-3：

X、Y、Z

行程：           

X＞1000 mm

Y＞1000 mm

Z＞200 mm

外形尺寸

设备重量：

19500 kg (42904 lbs)

宽x高x深：

2.7 m x 2.7 m x 2.4 m (舱体)

(106” x 106” x 94”)

占地面积：

6.5 m x 5 m

(256” x 197”)

IBF-1000R

IBF-1000R 是用于矩形光学工件表面纳米级确定性修正，加工工件最大可达 1000 x1000mm，配备了高速抽真空系统，最大限度的减少装载和卸载时间，提高了加工效率。


工件参数

工件尺寸：

1000 mm x 1000 mm

(39.3” – 39.3”)

工件厚度：

200 mm (8”)

工件重量：

最大350 kg (771 lbs)

接触角度：

最大63°  

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

高速抽真空系统

无过渡舱，配置高速抽真空系统

轴系统

类型1000R：

X、Y、Z

行程：           

X＞1000 mm

Y＞1000 mm

Z＞200 mm 

  

外形尺寸

设备重量：

10000 kg (22046 lbs)

宽x高x深：

9.2 m x 2.5 m x 6.2 m

(362” x 98” x 244”)

占地面积：

6.5 m x 9 m

(256” x 355”)

IBF-1500

IBF-1500 用于大型光学工件表面纳米级确定性修正、尤其是反射镜，工件垂直方向放置。

工件参数

工件直径：

Φ5 mm – Φ1500 mm

(Φ0.2” – Φ59”)

工件厚度：

520 mm (20.5”)

工件重量：

最大1000 kg (4545 lbs)

曲率半径：

≥2250 mm (88.5”)

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面


高速抽真空系统

无过渡舱，配置高速抽真空系统

轴系统

类型1500-3：

X、Y、Z、A (手动)

行程：           

X=1650 mm

Y=1800 mm

Z=200 mm

外形尺寸

设备重量：

21300 kg (4700 lbs)

宽x高x深：

7.40 m x 3.95 m x 7 m

(291” x 276” x 156”)

占地面积：

8 m x 8 m

(315” x 315”)

IBF-1500R

IBF-1500R 用于矩形光学工件表面纳米级确定性修正(如同步加速器反射镜)，配备了高速抽真空系统最大限度的减少装载和卸载时间，提高了加工效率。

工件参数

工件尺寸：

1500 mm x 400 mm

(60” x 16”)

工件厚度：

200 mm (8”)

工件重量：

最大350 kg (772 lbs)

接触角度：

最大63°

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

高速抽真空系统

无过渡舱，配置高速抽真空系统

轴系统

类型1500R：

X、Y、Z

行程：           

X＞1600 mm

Y＞450 mm

Z= 250 mm

 

工件参数

工件尺寸：

1500 mm x 500 mm

(60” x 20”)

工件厚度：

200 mm (8”) / 300 mm (12”)

工件重量：

最大350 kg (772 lbs)

接触角度：

最大63°

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

轴系统

类型1500R-I：

X、Y、Z

行程：           

X＞1600 mm

Y＞550 mm

Z= 250 mm

工件参数

工件尺寸：

1500 mm x 700 mm

(60” x 28”)

工件厚度：

200 mm (8”) / 300 mm (12”)

工件重量：

最大350 kg (772 lbs)

接触角度：

最大63°

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

轴系统

类型1500R-II：

X、Y、Z

行程：           

X＞1600 mm

Y＞750 mm

Z= 250 mm

外形尺寸

设备重量：

8100 kg (17821 lbs)

宽x高x深：

3.87 m x 2.5 m x 2.95 m

(152” x 98” x 116”)

占地面积：

5.85 m x 3 m

(230” x 118”)

IBF2000

IBF-2000 用于大型光学工件表面纳米级确定性修正，尤其是反射镜，工件水平方向放置，加工面向下，目前它是NTG最大的IBF设备，可根据客户要求提供更大的设备。

工件参数

工件直径：

Φ5 mm – Φ2000 mm

(Φ0.2” – Φ80”)

工件厚度：

600 mm (24”)

工件重量：

最大1000 kg (4545 lbs)

接触角度：

最大63°

加工面形：

平面、球面、非球面、自由曲面

高速抽真空系统

无过渡舱，配置高速抽真空系统

       

轴系统

类型2000-3：

X、Y、Z

行程：           

X=2100 mm

Y=2100 mm

Z=400 mm

外形尺寸

设备重量：

26500 kg (58305 lbs)

宽x高x深：

3.9 m x 3.9 m x 2.6 m (舱体)

(153” x 153” x 102”)

占地面积：

8.5 m x 6 m

(315” x 236”)

离子源配件

RF40、RF60 和 K100 是专为 IBF100-IBF2000 设备而设计，长期运行且稳定性极高，约500个工作小时免维护(K100是50个工作小时免维护)。

RF40离子源

专为IBF设备设计：

IBF 100 – IBF 2000

离子能量：

600 eV – 1600eV (氩)

离子光束：

高斯状

小束径：

Φ0.5 mm – Φ4 mm (FWHM)

标准束径：

Φ6 mm – Φ30 mm (FWHM)

去除率：

 

Φ0.5 mm：

最小0.00002 mm3/min

Φ25 mm：

最大0.3 mm3/min

免维护周期：

＞500 小时

长期运行稳定性：

＞97% / 10 h


RF60离子源

专为IBF设备设计：

IBF 300 – IBF 2000

离子能量：

600 eV – 1300eV (氩)

离子光束：

高斯状

Φ30 mm – Φ60 mm (FWHM)

去除率：

0.6 mm3/min – 1.2 mm3/min

免维护周期：

＞250 小时

长期运行稳定性：

＞97% / 10 h

 

K100离子源

专为IBF设备设计：

IBF 1000 – IBF 2000 (真空版)

(IBE 215法兰式安装)

离子能量：

600 eV – 1200eV (氩)

离子光束：

高斯状

Φ60 mm – Φ120 mm (FWHM)

去除率：

1.0 mm3/min – 3.0 mm3/min

免维护周期：

~ 50 小时

长期运行稳定性：

＞97% / 10 h


VACUTECT-K温度记录仪

传感器：

类型k（同样支持J,T and N)

记录仪测量范围：

-200至﹢1370℃ (-328至2498℉ )

传感器测量范围：

-65至﹢250℃ (-85至482℉ )

绝对精度：

1°C (2°F)

分辨率

0.01°C (0.02°F)

采样率：

1 s – 240 h

存储容量：

28K readings (~7:45 h @ 1 s rate)

报警LED触发器、充电锂电池适用于IBF100-2000

RF40离子源中和器

标准型

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水冷型

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光阑 Ø 15 mm
光束尺寸: 5 mm
工作距离: 30 mm 		光阑 Ø 35 mm
光束尺寸: 5 – 20 mm
工作距离: 30 – 100 mm
选项O2 供给-清洁，
CAIBF O2流量<20 sccm 		小光束
光束尺寸: 0.5 – 4 mm
工作距离: 5 – 25 mm
选项O2供给-原位清洁 O2流量 <1 sccm 		极细光束
光束尺寸: 0.5 – 4 mm
工作距离: 5 – 25 mm
选项O2供给-原位清洁 O2流量 <1 sccm 		可变光阑
光束尺寸: 0.5 – 4 mm
工作距离: 5 – 25 mm
光阑组可用于IBF 200或更大

RF40栅格配置


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栅格1

栅格2

栅格3

中和器组件

工作距离

高斯光束尺寸

最大蚀刻速率

mm

mm

mm

mm

mm FWHM

nm/s

10

30

30

15/35

20 - 50

5 - 7

1 - 5

20

30

30

35

30 - 60

7 - 10

2 - 6

30

30

30

35

50 - 100

10 - 15

3 - 7

37

37

37

35

50 - 120

15 - 25

3 - 7

HP10

37

37

35

10 - 50

8 - 12

3 - 8

HP37

37

37

35

40 - 120

15 - 25

6 - 12

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RF60 离子源大功率格栅

优点
水冷却（工件受热更少）
易于安装：只需3个螺丝和电连接器；隔离冷却底座将固定在源上
中心部分只涉及石墨，光束不接触其他材料，污染更少
保养周期长、绝缘体免受溅射影响
易于清洁：顶部表面平整，可使用百洁布轻松清洁

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栅格: HP30/30/30
材料: 石英
能量: 1000eV
距离: 100mm

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RF40去除率10-30标准栅格

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RF40
栅格: 10/30/30
材料: 石英
能量: 1000eV
距离: 30mm
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RF40
栅格:20/30/30
材料: 石英
能量: 1000eV
距离: 40mm

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RF40
栅格: 30/30/30
材料: 石英
能量: 1000eV
距离: 50mm

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RF40去除率37和大功率栅格

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RF40
栅格: 37/37/37
材料: 石英
能量: 1000eV
距离: 60mm
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 RF40
栅格:HP10/30/30
材料: 石英
能量: 1000eV
距离: 30mm

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 RF40
栅格: HP37/37/37
材料: 石英
能量: 1000eV
距离: 70mm

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