德国LT
MTC250 金刚石单点车床
MTC250 是LT公司生产的经济型单点金刚石车床。天然大理石整体机身结构，X、Z轴采用静油压线性，电机驱动最大行程 250mm，可加工最大直径300mm（可扩展至350mm）。根据客户不同的加工需求，可选配B轴、C轴、快刀伺服技术，慢刀伺服技术。
功能特性:
+天然大理石整体机身机构+紧凑型机身设计，不受安装场地限制
+主动隔振系统
+气浮主轴，静油压轴承导轨技术
+光学对刀装置
+球面/非球面在线测量系统
+加工过程监控摄像头
+FTS 和 STS 加工功能可选
+适合于所有有色金属、晶体、塑料等材料
+加工精度:P_V:<150nm/100mm；Ra:<2nm
整体概述 | 详细技术说明 |
设备名称 | 超精密二轴、三轴或四轴单点金刚石车床 |
加工范围 | 直径300mm，长度200mm；（直径350mm可选） |
设备整体结构 | 天然大理石整体结构机身，位移轴静油压导轨镶嵌在大理石床身，工件主轴采用大理石外罩保护 |
防震装置 | 主动隔振系统 |
控制系统 | Delta Tau PC, type: Turbo PMAC |
程序分辨率 | 1nm |
加工精度 | 面形精度(P-V): <150nm/直径100mm 表面粗糙度(Ra): <2nm |
工件主轴 | DK130 |
结构类型 | 气浮轴承技术 |
转速范围 | 50 to 6,000rpm |
负载 | 300N |
轴向刚度 | 150N/μm |
径向刚度 | 80N/μm |
驱动系统 | 直流伺服电机驱动 |
轴向/径向跳动 | 轴向:＜100nm 径向:＜100nm |
线性位移轴 | X轴 | Z轴 | Y轴（选项） |
结构类型 | 静油压轴承技术 | 静油压轴承技术 | 静油压轴承技术 |
行程 | 250mm | 250mm | 100mm |
驱动系统 | 直线电机驱动 | 直线电机驱动 | 直线电机驱动 |
Feedback Type | Laser holographic linear scale | Laser holographic linear scale | Laser holographic linear scale |
分辨率 | 0.034nm | 0.034nm | 0.034nm |
最大进给速度 | 1500mm/min | 1500mm/min | 1500mm/min |
刚度 | 600N/μm | 600N/μm | 600N/μm |
直线度 | 0.15μm/100mm | 0.15μm/100mm | 0.15μm/100mm |
液压油供给系统 | 紧凑型闭环供给系统、流量控制、温度控制 | ||
旋转轴 | B轴（选项） | C轴（选项） |
结构类型 | 静油压轴承技术 | 气浮轴承技术 |
行程 | 360° | 360° |
驱动系统 | 扭矩电机驱动 | 直流伺服电机驱动 |
轴向刚度 | 280N/μm | 150N/μm |
径向刚度 | 100N/μm | 100N/μm |
定位精度 | ≤2.0 arc seconds | ≤2.0 arc seconds |
分辨率 | 0.02 arc seconds | 0.02 arc seconds |
最大转速 | 50rpm | 2,000rpm |
轴向/径向跳动 | ＜100nm | ＜100nm |
MTC350 金刚石单点车床
MTC350 是LT公司生产的大口径超高精密单点车床。除标准的X、2轴外，客户可根据实际的使用需求，选择B轴、C轴、以及Y轴。加工口径最大700mm。
功能特性:
+天然大理石整体机身机构+大口径加工机身设计，最大加工直径700mm
+主动隔振系统
+气浮主轴，静油压轴承导轨技术
+光学对刀装置
+球面/非球面在线测量系统
+加工过程监控摄像头
+FTS 和 STS 加工功能可选
+适合于所有有色金属、晶体、塑料等材料
+加工精度:P-V:<150nm/100mm；Ra:<2nm
整体概述 | 详细技术说明 |
设备名称 | 超精密二轴、三轴、四轴或五轴单点金刚石车床 |
加工范围 | 直径700mm |
设备整体结构 | 天然大理石整体结构机身，位移轴静油压导轨镶嵌在大理石床身，工件主轴采用大理石外罩保护 |
防震装置 | 主动隔振系统 |
控制系统 | Delta Tau PC, type: Turbo PMAC |
程序分辨率 | 1nm |
加工精度 | 面形精度(P-V):<150nm/直径100mm 表面粗糙度(Ra):≤2nm |
工件主轴 | DK130 |
结构类型 | 气浮轴承技术 |
转速范围 | 4000min (C-Axis: 2300min) |
轴向/径向负载 | 1000N/300N |
轴向刚度 | 150N/μm |
径向刚度 | 80N/μm |
驱动系统 | 直流伺服电机驱动 |
轴向/径向跳动 | 轴向:＜100nm 径向:＜100nm |
线性位移轴 | X轴 | Z轴 | Y轴（选项） |
结构类型 | 静油压轴承技术 | 静油压轴承技术 | 静油压轴承技术 |
行程 | 350mm | 350mm | 160mm |
驱动系统 | 直线电机驱动 | 直线电机驱动 | 直线电机驱动 |
编码器分辨率 | <0.009nm | <0.009nm | <0.009nm |
刚度 | 600N/μm (中心负载) | 600N/μm (中心负载) | 200N/μm (中心负载) |
直线度 | 0.15μm/100mm | 0.15μm/100mm | 0.25μm/100mm |
旋转轴 | B轴（选项） |
结构类型 | 静油压轴承技术 |
旋转角度 | 360° |
驱动系统 | 无刷直流电机 |
轴向刚度 | >780N/μm (中心负载) |
径向刚度 | >420 N/μm (面板前25mm) |
反馈分辨率 | 0.0007 arc seconds |
最大转速 | 10 min-1 |
轴向/径向跳动 | ＜100nm/＜100nm |
轴向/径向负载 | 3000N /1000N |
MTC650 金刚石单点车床
MTC
650 超精密金刚石单点车床可加工重达 200 千克的工件，达到超高面形精度。
MTC 650 以 T 形天然花岗岩床身为基础，X 轴和 Z 轴滑轨以及主轴箱也由花岗岩制成。两个滑台和可选的 B 轴均使用静（油）压轴承。主轴采用空气轴承，安装在 X 滑块上。可提供不同的真空吸盘，用于直径达 800 mm（31.5“）的工件。
功能特性：
+静(油)压轴承
+花岗岩机器底座
+主动机器调平与隔振系统
+面形测量系统
+过程监控相机
+集成刀具测量系统
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整体概述 |
详细技术说明 |
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设备名称 |
超精密二轴、三轴或四轴单点金刚石车床 |
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加工范围 |
直径800 mm （可选1000
mm） |
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设备整体结构 |
天然大理石整体结构机身，位移轴静油压导轨镶嵌在大理石床身，工件主轴采用大理石外罩保护 |
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防震装置 |
主动隔振系统 |
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控制系统 |
Delta Tau Power Pmac |
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程序分辨率 |
1nm |
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加工精度 |
面形精度（ P-V）：< 100 nm/直径100 mm 表面粗糙度（ Ra）：< 2
nm |
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CNC轴 |
X、Z、B、C |
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轴承类型 |
静（油）压轴承 |
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驱动系统 |
X、Z轴直线电机，B轴扭矩电机 |
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行 程 |
X=650 mm、Z=650 mm |
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速 度 |
最大2000 mm/min （ X轴 & Z轴） |
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刚 度 |
800 N/μm |
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光栅尺分辨率 |
< 0.009 nm |
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B轴轴承类型 |
静（油）压轴承 |
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B轴驱动系统 |
无刷直流电机 |
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B轴旋转角度 |
360° |
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B轴转速 |
最大10 rpm |
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主轴（C轴）轴承类型 |
气浮轴承 |
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主轴（C轴）驱动系统 |
直流伺服电机 |
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主轴（C轴）转速 |
最大 10000 rpm，C轴模式 1500 rpm |
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工件重量 |
200 kg |
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电 源 |
3Ph 380-400V, 50Hz, L63A |
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压缩空气 |
7-10 Bar |
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流 量 |
120 NL/min |
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工作温度 |
22 ℃±2℃ |
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设备净重 |
2800 KG |
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电气柜重量 |
200 KG |
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外形尺寸 |
约2878 mm（长）X 1900
mm（宽）X 1480 mm（高）包括电器柜，不包括机器外壳 |
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选项 |
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用于失圆/自由曲面加工的 C 轴，配有动态轴系统（慢刀） |
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快刀轴 |
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过程监控相机 |
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刀具测量系统 |
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面形测量系统 |
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微量润滑系统 |
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B 轴 |
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3D接触式测头 |
MTC金刚石单点车床附件
B轴
静（油）压轴承转台，用于刀具旋转器或保持恒定切削点（修正刀具角度位置，以保持切削点不变）。
安装于Z轴
高分辨率角度编码器 & 直接驱动
集成机械 & 电气一体化
集成机械 & 软件控制
CNC&HMI控制轴位置
快刀轴
加工自由形状或高速加工微观表面结构
安装于Z轴滑块
精密高度调节底座
标准刀具刀架
集成机械&电气
集成进CNC&软件控制
FTA100、FTA3000
FTA100
压电式驱动轴
最大行程: 100 μm
频率在几赫兹到几百赫兹
Ra＜5 nm
面形精度＜±500 nm
FTA3000
VC驱动轴
最大行程: 3000 μm
频率在几赫兹到100 Hz
Ra＜4nm
面形精度＜±400 nm
气浮/静油压转台/直线导轨
+转轴类型:气浮或静油压
+台面直径:50mm-1800mm
+轴向/径向跳动:<50nm
+承重:Max.50000N
+刚度:Max.5000N/um
+驱动类型:
手动+扭矩电机+皮带传动+压电陶瓷驱动+测量系统:
Heidenhain 旋转编码器或角度测量系统Renishaw 或 Sony 测量系统
杆式测量系统
接触式测量，用于手动校准工件（径向跳动）或机器部件（如卡盘），软件显示测量值。
电子杆式探针
RT300气浮转台
+RT300 气浮转台参数
+气压：5bar，2200NL/h
+台面直径：300mm
+轴向/径向跳动：<0.09um
+轴向负载：6000N
+径向负载：923N
+轴向刚度：960N/um
+径向刚度：120N/um+海德汉 886 编码器定位精度±1秒
LVDT测量系统
气浮轴承，用于测量工件的面形，可记录高分辨率轮廓或标称轮廓的实际误差。
分辨率: 10 nm
测量范围: 50 μm
传感器/探针/电子部件
探针底座具有精密微调高度传感器
测量值通过HMI显示/记录
集成电气 &机械控制/显示软件
气浮直线导轨
+配置精密主轴传动机构
+海德汉增量编码器
+空气过滤装置使导轨适应于洁净环境
+轴与轴套间几乎没有摩擦，避免了振动
+高刚性和承载力
+应用于精密定位测量
3D接触式测量系统
水平安装位置测量，适用于机械测量和工件水平调节
单向重复精度: ＜0.4 μm（依据所使用的探针）
传感器/探针/电子部件和线缆
集成机械&电气/软件控制
用户可创建测量程序（具备NC编程基础知识）
参考球
参考球对于像LVDT或3D接触式测量系统的校准是必需品，也用于B轴标定。
高精度硬质合金
包括测量报告
包括在主轴上的底座
刀具测量相机
使用零点位置夹具连接到机器，用于将刀具中心调整到机器坐标系，测量刀具半径或检查刀具。
20X物镜（其它依据需求）
集成顶部可调照明亮度LED
高分辨率相机
刀具半径/位置光学测量
HMI显示视频/软件计算刀具半径/TCP定位和存储到刀具数据表
微米级重复精度零点夹具（手动安装 & 拆卸）
集成机械 & 电气
软件控制
过程监控相机
相机通过手动设置，观察刀具刮擦表面和加工过程。
相机带防护罩
销连接臂/磁性支架/灵活可调
X轴平衡软件
提高主轴和工件的平衡, 利用X轴编码器的信号来计算，显示不平衡的值和角度位置，用户可通过加或减策略来调节平衡，使主轴或工件达到最佳的径向跳动和平滑度。
使用X轴传感器进行调节
软件操作简便
HMI显示调整程序的步骤
平衡软件扩展装置
利用加速度传感器的信号来计算, 显示不平衡的值和角度位置，用户可通过加或减策略来调节平衡，使主轴或工件达到最佳的径向跳动和平滑度，该系统可以与机器分开使用（选项），能够在多个平面进行平衡调节。
使用加速度传感器进行调节
软件操作简便
HMI显示调整程序的步骤
2X加速度传感器（2个平面调节）/ 相位传感器
19’’电器柜/软件安装在机器上的电脑
笔记本电脑用于独立测量（选项）
MMC 600/900超高精密铣磨加工中心
功能特性:
+天然大理石龙门架结构整体机身
+主动隔振系统
+位移轴气浮轴承技术，行程最大 900mm
+铣磨轴气浮轴承技术，直流伺服电机驱动
+二位手动/全自动分度工作台，加工多面棱体
+前后位移Y轴手动或全自动（选项）
+非接触在线测量系统（选项）
+干涉仪在线测量装置，最大 12”（选项）
+最大加工直径:900mm
+加工精度:P-V:100nm/100mm；Ra:<2nm
MMC1100Z2 超高精密微细结构加工中心
功能特性:
+5+2 轴微细结构加工中心
+大理石龙门架整体结构机身，主动隔振系统
+超高精密单点车削加工
+铣削加工
+微细结构加工
+位移轴静油压轴承技术，直线电机驱动
+铣削工具轴气浮轴承技术，直流伺服电机驱动
+微细结构加工轴气浮轴承技术，最高转速 125,000RPM
+6 英寸平面干涉仪（12 英寸可选）
+BIum NANO NT 激光在线工具测量装置（可选）
+Renishaw TP200 在线工件测量装置（可选）
+自动换刀机械手（可选）
+最大加工直径:500mm
+加工精度:P-V:<100nm/100mm；Ra:<2nm
整体概述 | 详细技术说明 |
设备名称 | 超高精密微细结构加工中心 |
加工范围 | 直径500mm，或对角线长度800mm |
设备整体结构 | 天然大理石龙门架整体结构机身，位移轴静油压导轨镶嵌在大理石床身，工件主轴采用大理石外罩保护，水冷结构 |
防震装置 | 主动隔振系统 |
控制系统 | Delta Tau PC, type: Turbo PMAC |
程序分辨率 | 1nm |
加工精度 | 面形精度(P-V):≤100nm/直径100mm 表面粗糙度(Ra):≤2nm |
工件主轴 | A轴-型号DK200 | S1轴-微细结构加工轴（可选） |
结构类型 | 气浮轴承技术 | 气浮轴承技术 |
转速范围 | 500 to 2,500rpm | 5,000 to 80,000rpm |
负载 | 轴向:4500N 径向:3500N | 轴向:300N 径向:130N |
轴向刚度 | 400N/μm | 50N/μm |
径向刚度 | 350N/μm | - |
驱动系统 | 直流伺服电机驱动 | 直流伺服电机驱动 |
轴向/径向跳动 | 轴向:＜100nm 径向:＜100nm | 轴向:＜90nm 径向:＜90nm |
线性位移轴 | X轴 | Y轴 | Z1轴 | Z2轴 |
结构类型 | 静油压轴承技术 | 静油压轴承技术 | 双V滚珠丝杠 | 静油压轴承技术 |
行程 | 980mm | 250mm | 400mm | 150mm |
驱动系统 | 直线电机驱动 | 直线电机驱动 | 直流伺服电机驱动 | 直线电机驱动 |
分辨率 | 10nm | 10nm |
| 10nm |
定位精度与重复性 | ±50nm | ±50nm | ±0.5μm | ±50nm |
最大进给速度 | 800mm/min | 800mm/min | 800mm/min | 500mm/min |
刚度 | 水平：800N/μm 垂直：600N/μm | 水平：400N/μm 垂直：450N/μm |
| 水平：500N/μm 垂直：500N/μm |
直线度 | ＜0.9μm/500mm | 0.15μm/100mm | ＜5μm/100mm | 0.15μm/100mm |
液压油供给系统 | 紧凑型闭环供给系统、流量控制、温度控制 | |||
旋转轴 | A轴调节-B轴（选项） | 工作分度轴-C轴（选项） | S1轴摆动调节-W轴（选项） |
结构类型 | 机械涡轮结构 | 静油压轴承技术 | 机械结构 |
行程 | 0°-90° | 360° | 每5°递增 |
驱动系统 | 手动 | 扭矩电机驱动 | 手动 |
刚度 | -- | 轴向：800N/μm | -- |
分辨率 | 海德汉RON225编码器 | 0.36秒 | -- |
最大转速 | -- | 2,500rpm | -- |
轴向/径向跳动 | -- | ＜200nm | -- |
ATC200 超高精密定心车床
LT公司和费朗霍夫研究所共同研制生产的超高精密定心车床 ATC200，主要用于对中心偏、以及镜片间距高精度的生产要求，能够达到高精密镜头的快速装配与生产。
功能特性:
+超高精密立式车床，自动换刀系统
+全自动电磁调节夹具
+双光路中心偏测量系统
+集成一体镜片空气间隔测量系统
+非球面透镜测量传感器
设备型号 | ATC200 |
加工范围 | 5-200mm |
机床结构 | 传统机械加工立式车床所有轴为机械结构 |
调节装置 | 全自动电磁调节夹具 |
测量系统 | 双光路中心偏测量系统；空气间隔测量系统 非球面透镜中心偏测量传感器；多镜片测量分析软件 |
加工精度 | 直径加工精度：＜1μm 重复性：0.1-0.2μm |