MMC1100Z2 超高精密微细结构加工中心
功能特性:
+5+2 轴微细结构加工中心
+大理石龙门架整体结构机身，主动隔振系统
+超高精密单点车削加工
+铣削加工
+微细结构加工
+位移轴静油压轴承技术，直线电机驱动
+铣削工具轴气浮轴承技术，直流伺服电机驱动
+微细结构加工轴气浮轴承技术，最高转速 125,000RPM
+6 英寸平面干涉仪（12 英寸可选）
+BIum NANO NT 激光在线工具测量装置（可选）
+Renishaw TP200 在线工件测量装置（可选）
+自动换刀机械手（可选）
+最大加工直径:500mm
+加工精度:P-V:<100nm/100mm；Ra:<2nm
整体概述 | 详细技术说明 |
设备名称 | 超高精密微细结构加工中心 |
加工范围 | 直径500mm，或对角线长度800mm |
设备整体结构 | 天然大理石龙门架整体结构机身，位移轴静油压导轨镶嵌在大理石床身，工件主轴采用大理石外罩保护，水冷结构 |
防震装置 | 主动隔振系统 |
控制系统 | Delta Tau PC, type: Turbo PMAC |
程序分辨率 | 1nm |
加工精度 | 面形精度(P-V):≤100nm/直径100mm 表面粗糙度(Ra):≤2nm |
工件主轴 | A轴-型号DK200 | S1轴-微细结构加工轴（可选） |
结构类型 | 气浮轴承技术 | 气浮轴承技术 |
转速范围 | 500 to 2,500rpm | 5,000 to 80,000rpm |
负载 | 轴向:4500N 径向:3500N | 轴向:300N 径向:130N |
轴向刚度 | 400N/μm | 50N/μm |
径向刚度 | 350N/μm | - |
驱动系统 | 直流伺服电机驱动 | 直流伺服电机驱动 |
轴向/径向跳动 | 轴向:＜100nm 径向:＜100nm | 轴向:＜90nm 径向:＜90nm |
线性位移轴 | X轴 | Y轴 | Z1轴 | Z2轴 |
结构类型 | 静油压轴承技术 | 静油压轴承技术 | 双V滚珠丝杠 | 静油压轴承技术 |
行程 | 980mm | 250mm | 400mm | 150mm |
驱动系统 | 直线电机驱动 | 直线电机驱动 | 直流伺服电机驱动 | 直线电机驱动 |
分辨率 | 10nm | 10nm |
| 10nm |
定位精度与重复性 | ±50nm | ±50nm | ±0.5μm | ±50nm |
最大进给速度 | 800mm/min | 800mm/min | 800mm/min | 500mm/min |
刚度 | 水平：800N/μm 垂直：600N/μm | 水平：400N/μm 垂直：450N/μm |
| 水平：500N/μm 垂直：500N/μm |
直线度 | ＜0.9μm/500mm | 0.15μm/100mm | ＜5μm/100mm | 0.15μm/100mm |
液压油供给系统 | 紧凑型闭环供给系统、流量控制、温度控制 | |||
旋转轴 | A轴调节-B轴（选项） | 工作分度轴-C轴（选项） | S1轴摆动调节-W轴（选项） |
结构类型 | 机械涡轮结构 | 静油压轴承技术 | 机械结构 |
行程 | 0°-90° | 360° | 每5°递增 |
驱动系统 | 手动 | 扭矩电机驱动 | 手动 |
刚度 | -- | 轴向：800N/μm | -- |
分辨率 | 海德汉RON225编码器 | 0.36秒 | -- |
最大转速 | -- | 2,500rpm | -- |
轴向/径向跳动 | -- | ＜200nm | -- |